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第686章 光刻機

“東西買回來,怎麼用還要受到限制,赤果果的帝國主義。 ”杭雨聽了睿思職員的介紹,不禁感到一絲慍怒,小小荷蘭都這麼囂張。

這家等於說,我們從國外買了一臺洗衣機回來,明明什麼衣服都能洗,但它硬性規定你不能洗國產品牌的衣服,只能洗外國品牌的衣服。

如果這一套裝置不能完成自主研發,並且在工藝達到世界先進水平,即便我們自主設計出晶片,也不能完成量產,只能請別人幫忙。

睿思現在的光刻機工藝太落後了,目測要趕世界先進水平,得等個十年八年。十年八年難以盈利,還要不停的投錢,這種事兒也只有國家和大集團能做了。

事實,杭雨在投資睿思科技之前都猶豫了好久,因為這對公司來說是一個不小的負擔。如果江燕公司不做別的,投資一家睿思,那不算什麼。

問題是江燕還投資了其他很多產品,有短期見效的,也有長期見效的。

“外國人什麼時候跟我們講過道理,想擺脫這種局面,只能靠自己。”陸建川說道,他是睿思的技術員,帶領杭雨瞭解公司。

“你們現在能生產多少n光刻機?”杭雨問道。

“200。”陸建川不太好意思,回答很簡短。

杭雨不再追問了,200奈米離世界先進水平差的太遠,人家都用45奈米的。而且杭雨還知道,荷蘭人很快會把這個資料縮減到20以下,簡直可怕。

“研製光刻機所需的資金太多了,雖然有江燕公司的參與,但還是捉襟見肘,很多研究工作都得不到保障,希望杭先生能加大支援力度。”陸建川說道。

“我也想,每年五個億投資,對我們公司也造成了不小的負擔。”杭雨說道。

“據我所知,貴公司每年收益可以用百億來計算,每年多投資幾個億,對我們的工作都是極大的幫助。只要光刻機的精度再提高兩個層次,我們能實現盈利了。”陸建川說道。

“沒你想的那麼簡單,假如你有一百塊錢,這裡花幾塊那裡花幾塊,一年又能買幾個東西。何況兜裡得存點錢,以備不時之需,所以我們的資金其實很緊張。”杭雨說道。

他這個喻很簡單形象,陸建川一聽,便不再提這件事情了。

每年五個億當然不夠,大頭都是國家出的,杭雨投資這點錢只能算錦添花。杭雨自己也覺得少了點,於是又道:“如果公司效益好,我會酌情考慮你的建議。”

陸建川露出笑容道:“感謝杭先生的支援。”

杭雨突然覺得挺搞笑的,自己明明這麼有錢了,卻覺得不夠用。

“能給我講一下光刻機的技術關鍵嗎?”杭雨雖然不懂技術,但是對科技卻很感興趣。

“當然可以,只要杭先生不嫌我講的繁瑣。”陸建川掂量著,怎麼講才能滿足杭雨的好心,太專業肯定不行。

“你說。”杭雨說道。

“光刻機是晶片製造的核心裝置之一,按照用途可以分為好幾種。有用於生產晶片的光刻機,有用於封裝的光刻機;還有用於led製造領域的投影光刻機。”陸建川介紹道。

用於生產晶片的光刻機是國在半導體裝置製造最大的短板,國內晶圓廠所需的高階光刻機完全依賴進口,而且使用限制多。

“光刻機的組成部分有很多,分別是承載矽片的測量臺和曝光臺,鐳射器是光源,光刻機核心裝置之一。光束矯正器,矯正光束入射方向,讓鐳射束儘量平行。能量控制器,控制最終照射到矽片的能量,曝光不足或過足都會嚴重影響成像質量。”陸建川說道。

還有光束形狀設定,設定光束為圓型、環型等不同形狀,不同的光束狀態有不同的光學特性。

遮光器,在不需要曝光的時候,阻止光束照射到矽片。

能量探測器,檢測光束最終入射能量是否符合曝光要求,並反饋給能量控制器進行調整。

掩模版,一塊在內部刻著線路設計圖的玻璃板,貴的要數十萬美元。掩膜臺,承載掩模版運動的裝置,運動控制精度是奈米級的。

物鏡,用來補償光學誤差,並將線路圖等例縮小。

矽片,用矽晶製成的圓片。矽片有多種尺寸,尺寸越大,產率越高。由於矽片是圓的,所以需要在矽片剪一個缺口來確認矽片的座標系,根據缺口的形狀不同分為兩種,分別叫flat、 notch。

.........

“在加工晶片的過程,光刻機透過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經物鏡補償各種光學誤差,將線路圖成例縮小後對映到矽片,然後使用化學方法顯影,得到刻在矽片的電路圖。”

“一般的光刻工藝要經歷矽片表面清洗烘乾、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、鐳射刻蝕等工序。經過一次光刻的晶片可以繼續塗膠、曝光。越複雜的晶片,線路圖的層數越多,也需要更精密的曝光控制過程。”

陸建川已經儘量用簡單的方式介紹,但是一下子講那麼多,杭雨一時間還是難以消化。不過他更加深刻地感受到了,光刻機的研發難度。

原來也知道這種裝置很難做,但是概念模糊,不知道有這麼多組成。

“現在的尖端裝置越來越複雜了,可以想象,將來需要的尖端技術人員,也會呈倍數增長。都說我們的人口紅利快沒了,但是我感覺,人多永遠都有好處。”杭雨突然有所感想。

“目前的人口素質來看,我們的人口紅利的確越來越小。接下來還能不能發揮人數優勢,要看教育效果,希望下一代的整體素質能提高。”陸建川說道。

隨著科技發展,越高階的產品,對體系的要求越來越高,龐大。

舉個簡單的例子,將來有了宇宙飛船,那玩意該有多大,多複雜?沒有足夠的人口,足夠的研究人員怎麼可能做得出來,小國想都別想。

估計以我國人口數量,也很難做到那種程度。

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